ลำดับชั้น
รหัส HS ปลายทาง
HS 84861010เครื่องอุปกรณ์สำหรับให้ความร้อนแบบเฉียบพลันของ เวเฟอร์กึ่งตัวนำHS 84861020เครื่องปั่นแห้งสำหรับใช้ในกระบวนการผลิตเวเฟอร์ กึ่งตัวนำHS 84861030เครื่องจักรสำหรับใช้งานกับวัตถุใดก็ตาม โดยเอาเนื้อวัตถุ ออกด้วยลำแสงเลเซอร์หรือลำแสงอื่น ๆ หรือใช้โฟตอนบีม ในการผลิตเวเฟอร์กึ่งตัวนำHS 84861040เครื่องจักรและเครื่องอุปกรณ์สำหรับเลื่อยตัดแท่งบูลส์ กึ่งตัวนำผลึกเดี่ยวให้เป็นแผ่น หรือตัดเวเฟอร์ให้เป็นชิปHS 84861050เครื่องเจียระไน เครื่องขัดมันและเครื่องขัดเรียบ สำหรับ กระบวนการผลิตเวเฟอร์กึ่งตัวนำHS 84861060เครื่องอุปกรณ์สำหรับปลูกหรือดึงแท่งบูลส์กึ่งตัวนำ ผลึกเดี่ยวHS 84861090อื่น ๆ